大氣機械手SRBJ1A-AS3491
關鍵字導讀： TRACK ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS CMP COATING CLEAN DETECT
描述：高潔凈等級，高精度，高速傳片，耐腐蝕，碰撞保護，Mapping功能，SEMI認證，提供接口及末端定制。
簡介
Introduction
大氣機械手廣泛用于硅晶圓以及LED藍寶石基片搬運。手臂采用先進的結構加強了手臂的剛性，并有效抑制振動，輕量化設計滿足高速要求。本體的制造工藝改進有效降低成本，提升市場競爭力。材料、加工以及表面處理多方面優選，以實現高潔凈度。具有多重安全保護功能。肘部和腕部靈活控制，使得機器人可以采用任意姿勢來取放晶元，允許更多的片盒直線排布，更節省空間，適應性更強。是半導體行業的優勢之選。
參數
Parameter
| 結構形式Mechanical Structure | 柱坐標型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA | |
|---|---|---|
| 負載Payload | 名稱name | 晶圓wafer |
| 直徑diameter | Φ200mm/Φ300mm | |
| 重量weight | ≤0.5kg | |
| 自由度數DOF | 3 | |
| 最大回轉直徑Maximum Swing diameter | 520mm | |
運動范圍 Moving Range | 升降軸 (Z軸)Up/Down( Z)-Axis | 330mm |
| 回轉軸 (T軸) Rotational(T)-Axis | 330° | |
| 伸展軸 (R軸) Extension(Z)-Axis | R736mm | |
最大速度 Maximum Moving Speed | 升降軸 (Z軸)Up/Down( Z)-Axis | 330mm/s |
| 回轉軸 (T軸) Rotational(T)-Axis | 360° | |
| 伸展軸 (R軸) Extension(Z)-Axis | 900mm/s | |
重復定位精度 Repeatability | 升降軸 (Z軸)Up/Down( Z)-Axis | ±0.1 mm(3σ) |
| 回轉軸 (T軸) Rotational(T)-Axis | ±0.01°(3σ) | |
| 伸展軸 (R軸) Extension(Z)-Axis | ±0.1 mm(3σ) | |
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