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真空機械手PHOENIX PLUS B系列直驅電機結構,與PHOENIX B系列相直驅電機結構,與PHOENIX B系列相比,將控制器集成到機械手本體之內,大大縮減了整體尺寸,IO處理模......
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真空機械手ARCHER 系列直驅電機結構,全新的IO模塊,具有直驅電機結構,全新的IO模塊,具有先進的防碰撞保護功能及輸入信號硬件中斷功能。滿足個性化設計支持......
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TTS-2000 EFEM(兩工位EFEM)一體化程度高,自動化程度高,安全一體化程度高,自動化程度高,安全區保護,SEMI認證S2、F47,網絡化控制器,接口可用戶定制,擁有新松自......
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IC STOCKERFOUP STK,高潔凈度,電纜供電,低FOUP STK,高潔凈度,電纜供電,低噪音,行走免潤滑,SEMI軟件接口,碰撞保護功能,MCBF50000次,Au......
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真空傳輸平臺DIAGRAM 600一體化程度高,自動化程度高,擁有一體化程度高,自動化程度高,擁有新松自主研發的真空機械手,真空預對準裝置及晶圓盒真空升降傳輸裝......
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大氣機械手Blade-S175-Ex高潔凈等級,高精度,高速傳片,耐高潔凈等級,高精度,高速傳片,耐腐蝕,碰撞保護,Mapping功能,SEMI認證,提供接口及末端定制
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真空機械手Titan1500C采用磁流體密封技術,網絡化控制系采用磁流體密封技術,網絡化控制系統,具有先進的防碰撞保護功能及動態糾偏功能,通過SEMI認證,MCBF......
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真空機械手PINUS-SM11直驅電機結構,全新的IO模塊,具有直驅電機結構,全新的IO模塊,具有先進的防碰撞保護功能及輸入信號支硬件中斷功能,通過SEMI認證。滿......
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真空機械手PHOENIX-S25直驅電機結構,全新的IO模塊,具有直驅電機結構,全新的IO模塊,具有先進的防碰撞保護功能及輸入信號支硬件中斷功能,擁有SEMI認證。滿......
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大氣機械手Blade-SD210高潔凈等級,高速傳片,碰撞保護,M高潔凈等級,高速傳片,碰撞保護,Mapping,SEMI認證S2,F47,迎合個性化設計手指及接口用戶可定制。
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TTS-3000 EFEM(3工位EFEM)一體化程度高,自動化程度高,安全一體化程度高,自動化程度高,安全區保護,SEMI認證S2、F47,網絡化控制器,接口可用戶定制。
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TTS-4000 EFEM(4工位EFEM)一體化程度高,自動化程度高,安全一體化程度高,自動化程度高,安全區保護,SEMI認證S2、F47,網絡化控制器,接口可用戶定制。
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G4.5 FPD Robot高潔凈等級,高速傳片,抗干擾,GLA高潔凈等級,高速傳片,抗干擾,GLASS自動糾偏,提供接口及末端定制,迎合個性化設計手指及接口,用......
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G6 FPD Robot高潔凈等級,高速傳片,抗干擾,GLA高潔凈等級,高速傳片,抗干擾,GLASS自動糾偏,提供接口及末端定制,迎合個性化設計手指及接口,用......
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復合機器人C-20 I/II車載電池供電,安全性高、能耗低,車載電池供電,安全性高、能耗低,激光輪廓導航、百級潔凈設計、能滿足Cassette, CST, MGZ, Tray......
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G4.5 Cassette AMHSCST AMHS,高潔凈度,非接觸供電,CST AMHS,高潔凈度,非接觸供電,SEMI軟件接口,動態糾偏和碰撞保護功能 ,設備可定制。
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Mask StockerMask case STK,高潔凈度,非接觸Mask case STK,高潔凈度,非接觸供電,SEMI軟件接口,動態糾偏和碰撞保護功能,高可靠性,設備可定制
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真空機械手SRBZ970C磁流體密封、網絡化控制器、MCBF大磁流體密封、網絡化控制器、MCBF大于1000萬次,SEMI認證S2,F47,迎合個性化設計具有手臂長度、自由......
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真空機械手PHOENIX-B系列直驅電機結構,全新的IO模塊,具有直驅電機結構,全新的IO模塊,具有先進的防碰撞保護功能及輸入信號支硬件中斷功能,通過SEMI認證。滿......
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大氣機械手Blade-DD250高潔凈等級,高精度,高速傳片,耐高潔凈等級,高精度,高速傳片,耐腐蝕,碰撞保護, SEMI認證,提供接口及末端定制
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大氣機械手Blade-D156高潔凈等級,高速傳片,碰撞保護,M高潔凈等級,高速傳片,碰撞保護,Mapping,SEMI認證S2,F47,迎合個性化設計手指及接口用戶可定制。
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SRBZ1440A采用磁流體密封技術,網絡化控制系采用磁流體密封技術,網絡化控制系統,具有先進的防碰撞保護功能及動態糾偏功能,擁有SEMI認證,MCBF......
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SRBZ820C-SMSX磁流體密封、網絡化控制器、MCBF大磁流體密封、網絡化控制器、MCBF大于1000萬次,SEMI認證S2,F47,迎合個性化設計具有手臂長度、自由......
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PINUS1-B直驅電機結構,全新的IO模塊,具有直驅電機結構,全新的IO模塊,具有先進的防碰撞保護功能及輸入信號支硬件中斷功能,擁有SEMI認證。滿......
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大氣機械手SRBJ1A-AS3491高潔凈等級,高精度,高速傳片,耐高潔凈等級,高精度,高速傳片,耐腐蝕,碰撞保護,Mapping功能,SEMI認證,提供接口及末端定制。
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