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真空機械手PHOENIX PLUS B系列直驅電機結構，與PHOENIX B系列相直驅電機結構，與PHOENIX B系列相比，將控制器集成到機械手本體之內，大大縮減了整體尺寸，IO處理模......See more
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真空機械手ARCHER 系列直驅電機結構，全新的IO模塊，具有直驅電機結構，全新的IO模塊，具有先進的防碰撞保護功能及輸入信號硬件中斷功能。滿足個性化設計支持......See more
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TTS-2000 EFEM（兩工位EFEM）一體化程度高，自動化程度高，安全一體化程度高，自動化程度高，安全區保護,SEMI認證S2、F47,網絡化控制器,接口可用戶定制，擁有新松自......See more
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IC STOCKERFOUP STK，高潔凈度，電纜供電，低FOUP STK，高潔凈度，電纜供電，低噪音，行走免潤滑，SEMI軟件接口，碰撞保護功能，MCBF50000次，Au......See more
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真空傳輸平臺DIAGRAM 600一體化程度高，自動化程度高，擁有一體化程度高，自動化程度高，擁有新松自主研發的真空機械手，真空預對準裝置及晶圓盒真空升降傳輸裝......See more
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大氣機械手Blade-S175-Ex高潔凈等級，高精度，高速傳片，耐高潔凈等級，高精度，高速傳片，耐腐蝕，碰撞保護，Mapping功能，SEMI認證，提供接口及末端定制See more
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真空機械手Titan1500C采用磁流體密封技術，網絡化控制系采用磁流體密封技術，網絡化控制系統，具有先進的防碰撞保護功能及動態糾偏功能，通過SEMI認證，MCBF......See more
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真空機械手PINUS-SM11直驅電機結構，全新的IO模塊，具有直驅電機結構，全新的IO模塊，具有先進的防碰撞保護功能及輸入信號支硬件中斷功能，通過SEMI認證。滿......See more
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真空機械手PHOENIX-S25直驅電機結構，全新的IO模塊，具有直驅電機結構，全新的IO模塊，具有先進的防碰撞保護功能及輸入信號支硬件中斷功能，擁有SEMI認證。滿......See more
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大氣機械手Blade-SD210高潔凈等級，高速傳片，碰撞保護，M高潔凈等級，高速傳片，碰撞保護，Mapping，SEMI認證S2，F47，迎合個性化設計手指及接口用戶可定制。See more
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TTS-3000 EFEM（3工位EFEM）一體化程度高，自動化程度高，安全一體化程度高，自動化程度高，安全區保護,SEMI認證S2、F47,網絡化控制器,接口可用戶定制。See more
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TTS-4000 EFEM（4工位EFEM）一體化程度高，自動化程度高，安全一體化程度高，自動化程度高，安全區保護,SEMI認證S2、F47,網絡化控制器,接口可用戶定制。See more
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G4.5 FPD Robot高潔凈等級，高速傳片，抗干擾，GLA高潔凈等級，高速傳片，抗干擾，GLASS自動糾偏，提供接口及末端定制，迎合個性化設計手指及接口，用......See more
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G6 FPD Robot高潔凈等級，高速傳片，抗干擾，GLA高潔凈等級，高速傳片，抗干擾，GLASS自動糾偏，提供接口及末端定制，迎合個性化設計手指及接口，用......See more
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復合機器人C-20 I/II車載電池供電，安全性高、能耗低，車載電池供電，安全性高、能耗低，激光輪廓導航、百級潔凈設計、能滿足Cassette, CST, MGZ, Tray......See more
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G4.5 Cassette AMHSCST AMHS，高潔凈度，非接觸供電，CST AMHS，高潔凈度，非接觸供電，SEMI軟件接口，動態糾偏和碰撞保護功能 ，設備可定制。See more
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Mask StockerMask case STK，高潔凈度，非接觸Mask case STK，高潔凈度，非接觸供電，SEMI軟件接口，動態糾偏和碰撞保護功能，高可靠性，設備可定制See more
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真空機械手SRBZ970C磁流體密封、網絡化控制器、MCBF大磁流體密封、網絡化控制器、MCBF大于1000萬次，SEMI認證S2，F47，迎合個性化設計具有手臂長度、自由......See more
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真空機械手PHOENIX-B系列直驅電機結構，全新的IO模塊，具有直驅電機結構，全新的IO模塊，具有先進的防碰撞保護功能及輸入信號支硬件中斷功能，通過SEMI認證。滿......See more
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大氣機械手Blade-DD250高潔凈等級，高精度，高速傳片，耐高潔凈等級，高精度，高速傳片，耐腐蝕，碰撞保護， SEMI認證，提供接口及末端定制See more
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大氣機械手Blade-D156高潔凈等級，高速傳片，碰撞保護，M高潔凈等級，高速傳片，碰撞保護，Mapping，SEMI認證S2，F47，迎合個性化設計手指及接口用戶可定制。See more
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SRBZ1440A采用磁流體密封技術，網絡化控制系采用磁流體密封技術，網絡化控制系統，具有先進的防碰撞保護功能及動態糾偏功能，擁有SEMI認證，MCBF......See more
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SRBZ820C-SMSX磁流體密封、網絡化控制器、MCBF大磁流體密封、網絡化控制器、MCBF大于1000萬次，SEMI認證S2，F47，迎合個性化設計具有手臂長度、自由......See more
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PINUS1-B直驅電機結構，全新的IO模塊，具有直驅電機結構，全新的IO模塊，具有先進的防碰撞保護功能及輸入信號支硬件中斷功能，擁有SEMI認證。滿......See more
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大氣機械手SRBJ1A-AS3491高潔凈等級，高精度，高速傳片，耐高潔凈等級，高精度，高速傳片，耐腐蝕，碰撞保護，Mapping功能，SEMI認證，提供接口及末端定制。See more
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